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晶体定向仪高精度测量新利官方网站

符合SECS/GEM通讯,
实现“零”误差的精准切割

  • 品质提升
  • 电子
  • 高速高精度加工

应用介绍

由于硅晶棒生产工艺限制,其内部原子面和硅棒横截面之间会存在一个角度差,如果我们在切片时,以硅棒横截面为基准进行切割,切割出来的硅片,同一层原子之间存在高度差,造成硅片导电性变差。因此,在事先了解原子面和硅棒横截面之间的角度后,以固定的角度进行切割,则切割出来的硅片,同一层原子之间可规避高度差。晶体定向仪的作用就是测量硅棒内部原子面和硅棒横截面的角度,从而实现硅棒的精准切割。

课题

1、传统伺服的响应性与控制精度不足,角度测量可能存在较大偏差。

2、需满足行业标准(SECS/GEM通讯)

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1、伺服高级调谐技术

利用FFT进行采样分析数据学习,对伺服的增益按频域的方式进行解析,在不引起伺服抖动的前提下,尽可能提高伺服速比例度增益值来确保伺服的响应性和控制精度。

2、满足行业标准(SECS/GEM通讯)

结合机器控制和上位通信,可在短时间内以低成本轻松实现SECS/GEM通信。

■ 与上位主机直接通信
无需中转计算机/专用通信单元/软件

■ 有助于设备小型化
CPU单元可直连上位主机

■ 无需年度合约
・降低运行成本

使用SECS/GEM配置,无需编程即可实现通信设定。

■ 无需地址设定
变量编程无需地址设定

■ 计算机与机器控制器之间无需编程
使用一台CPU,无需在中转计算机和机器控制器之间通信

■ 通过SECS/GEM配置缩短设计时间

系统配置

实现价值

1、角度测量:误差<0.05度

2、满足行业标准(SECS/GEM通讯)

客户的心声

通过伺服高级调谐技术,大幅度降低角度测量的误差,从而实现硅棒的精准切割。另外,所配置的控制系统均满足行业标准(SECS/GEM通讯),在同行业的竞争中具有显著优势。

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