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碳化硅晶圆槽式清洗甩干一体机，主要结构包括：上料工位、酸洗槽、清水槽、碱洗槽、、缺陷检测工位、甩干机和下料工位。

1、轨迹曲线控制技术

客户期望在保证高速节拍的前提下，降低碎片率。通过新利独特的轨迹曲线控制技术，能够自动计算补偿量，以抑制速度变化时发生的偏差，精度高达±0.01mm。

确保了整个搬运及清洗过程中的运动精度，即可在无偏差的情况下完成一系列工艺操作，有效降低碎片率。

2、满足行业标准（SECS/GEM通讯）

结合机器控制和上位通信，可在短时间内以低成本轻松实现SECS/GEM通信。

■ 与上位主机直接通信
无需中转计算机/专用通信单元/软件

■ 有助于设备小型化
CPU单元可直连上位主机

■ 无需年度合约
・降低运行成本

使用SECS/GEM配置，无需编程即可实现通信设定。

■ 无需地址设定
变量编程无需地址设定

■ 计算机与机器控制器之间无需编程
使用一台CPU，无需在中转计算机和机器控制器之间通信

■ 通过SECS/GEM配置缩短设计时间

1、生产节拍：＜175秒

2、碎片率：＜0.05%，完整率≥99.95%

3、满足行业标准（SECS/GEM通讯）