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在高温环境中，由于化学气相沉积（CVD）的涂层与晶圆的膨胀率不同，容易产生局部形变，形变则会产生应力，在多层的反复加工中应力会越来越大，最终导致晶圆损坏报废。

因此化学气相沉积（CVD）镀膜的细分工位通常使用激光退火的方式来消除应力，最后通过应力检测机确认消除效果，以此形成应力把控的闭环。

设备前端模块（EFEM）将晶圆送入测量腔内，随后晶圆经翻转运输至干涉仪的测量视野范围中检测形变量，通过应力计算判定退火品质后，再翻转运输至设备前端模块（EFEM）进行OK/NG的分类。

1、经验分布统计+专业的建模计算，推算批量数据

通过有限的温度采样值，例如中心的基准温度值、变化趋势、判定区间，并使用大数据仿真确定了更为合适的RMS滤波算法，最后经过经验分布函数推算/模拟出大量的实时温度数据。

2、通过数学期望算法，实时估算基准值

首先建立数学期望模型，然后采集开始检测的温度值（过滤后），最后通过一系列的推算，在动态测量中预估出基准温度值。

1、精度

滤波后的实时温度与温度传感器示数一致，波动合理，抗干扰性强

2、效率

温度变化感知灵敏度提升1倍，响应速度提升15%。

【经营层】

■ 在半导体（SEMI）良好的发展前景下，快速应对市场变化，通过先进的算法解决晶圆易损坏报废的行业课题，大幅升级设备性能，助力打造业内Top竞争力。

【管理层】

■ 晶圆沉积工艺品质的提升，完全建立在控制系统与程序的优化，无需更改机械结构和运动时间，导入时间更快且成本更低。
■ 新利机械自动化控制器NJ/NX系列，可实现现场生产数据的采集、存储、分析，改善管理课题，提高生产效率。

【工程师层】

■ 通过滤波解决温度课题，节省了两周的开发时间。
■ 大量的专业的建模计算模拟运用大幅度提升了调试效率。